먼저 증착이란 말에 대한 사전적 정의~
"증착이란, 고진공에 놓은 용기 속에 피복(被覆)될 물체와 그 표면에 부착시키려는 금속 등의 입자를 넣어 둔 다음, 히터에 전류를 흘러서 가열함으로써 그 금속입자를 증발시키면, 차가운 물체 표면에 응축해서 부착하는 것을 이용하여 표피(表皮)를 붙이는 방식이다. 모든 물품에 적용될 수 있다는 것이 특색이며, 천에 알루미늄을 붙이거나 플라스틱에 은을 붙일 수도 있다. 광학렌즈의 반사방지피막(被膜)도 플루오르화마그네슘 등을 진공증착시킨 것이다. 여기서 알수 있듯이 증착을 위해서는 진공기(Chamber)와 증착될 물질(Target)과 증착시킬 물질-피증착물(Substrate) 그리고, target을 가열할 히터(Source)가 구성요소 임을 알 수 있습니다. 거울을 증착한다고 예를 들면 Target은 AL(알루미늄)이고 Substrate는 유리, Source는 텅스텐 코링이 되겠습니다. 이러한 증착은 크게 두가지 방식으로 나뉘는데, PVD (물리 기상 증착법)와 CVD (화학 기상 증착법)로 나누어집니다. PVD에는 sputtering, evaporation 등이 있고, CVD에는 thermal CVD, Plasma Enhanced CVD (PECVD) 등이 있습니다. 통상 진공증착이라함은 Evaporation 을 말하고 이것이 흔히 알고 있는 VM(Vaccum Metallizing)또는 VP(Vacuum Plating)으로서 알루미늄 증착을 하는 방법입니다.