상압하에서의 실리카 에어로겔의 합성 및 박막코팅 TMCS(Trimethylchlorosilane)로 표면개질한 습윤겔을 에탄올에 재분산시켜 코팅용 재분산 실리카 졸을 제조하였고 제조된 재분산 졸을 실리콘 기판에 스핀 코팅한 후 상압 하에서 건조(80℃) 및 열처리(〉250℃)하여 열처리 온도에 따른 박막의 물성 변화를 관찰하였다.
습윤겔의 재분산시 안정한 재분산 실리카 졸의 제조를 위한 최적 재분산 조건을 습윤겔:에탄올 =1g:110㎖ 로 하였고, 이렇게 제조된 재분산 실리카 졸의 농도와 점도는 각각 0.11M, 2.0~2.2cP 였으며, 평균 졸 입자크기는 약 30nm 정도였다.
1500rpm, 10회 스핀 코팅한 후 80℃에서 2시간 건조, 450℃에서 2시간 열처리에 의하여 굴절율이 약1.14, 두께가 400nm 정도인 균열이 없는 박막을 얻을 수 있었다.
- (출처) 연세대학교 세라믹공학과 (양희선,최세영)[출처] 상압하에서의 실리카 에어로겔의 합성 및 박막코팅|작성자 제이벡 Jvac